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我們使用改良西門子法生產製造多晶硅。此種改良西門子法能夠高效地利用三氯氫硅，生產耗電較少，對比傳統西門子法而言能夠同時兼顧到環境保護，減少生產流程中的污染。改良西門子法包括以下四個主要步驟：
(1) 氯氫化，(2) 精餾，(3) 還原，和 (4) 尾氣回收。 |
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| 在徐州的氯氫化設施 |
氯氫化
這個工藝涉及回收氯化硅(多晶硅還原過程中所產生的副產品)，將四氯化硅與氫氣溷合以產生三氯氫硅。這個步驟中的另一個副產品氯化氫將和冶金級硅溷合以進一步生產之氯氫硅 。 |
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| 在徐州的精餾塔 |
精餾
這個工藝涉及通過精餾和濃縮（即借助壓力和溫度）從三氯氫硅中分離出未充分反應的氯化氫和回氯化硅。隨后三氯氫硅將被進一步精餾提純，為下一步驟的生產做好準備。 |
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| 徐州二期的還原爐車間 |
還原
所產生的淨化后的三氯氫硅與氫氣溷合，再蒸發為氣體。之后所產生的氣體排入內置有熱硅棒的鐘形反應爐。氣體中所含的硅將在熱硅棒上還原沉積，直至熱硅棒的直徑達到要求為止。之后關閉反應爐，硅棒在碎成塊狀之前需進行冷卻。 |
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| 在徐州的尾氣回收系統 |
尾氣回收
生產硅晶體會產生主要由氫氣、氯硅烷和氯化氫組成的廢氣。廢氣通過低溫吸收法進行分離回收。我們使用集壓縮、低溫濃縮、催化反應、精餾、環繞吸收和低溫吸收于一身的CDI廢氣回收系統，將廢氣流分離為易回收成份。溷合的氯硅烷會回收為適合精餾成供再使用的三氯氫硅的液化流，而四氯化硅則可通過氯氫化工藝轉化為三氯氫硅。 |
| 無水氯化氫以高純度回收，適合生產三氯氫硅。所回收的氫氣通常含總污染物小于百萬分之十（10ppm），可直接回收至三氯氫硅精餾器而毋須進一步加工。就某些功能而言，CDI已達到總污染物小于1ppm（99.9999%純氫氣）。西門子反應爐所具有的回收和使用廢氣的功能，使得所生產的多晶硅品質提升，同時減少了副產品的儲存或處置問題。 |
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