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我们使用改良西门子法生产製造多晶硅。此种改良西门子法能够高效地利用三氯氢硅，生产耗电较少，对比传统西门子法而言能够同时兼顾到环境保护，减少生产流程中的污染。改良西门子法包括以下四个主要步骤：
(1) 氯氢化，(2) 精馏，(3) 还原，和 (4) 尾气回收。 |
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| 在徐州的氯氫化設施 |
氯氢化
这个工艺涉及回收氯化硅(多晶硅还原过程中所产生的副产品)，将四氯化硅与氢气溷合以产生三氯氢硅。这个步骤中的另一个副产品氯化氢将和冶金级硅溷合以进一步生产之氯氢硅 。 |
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| 在徐州的精馏塔 |
精馏
这个工艺涉及通过精馏和浓缩（即借助压力和温度）从三氯氢硅中分离出未充分反应的氯化氢和回氯化硅。随后三氯氢硅将被进一步精馏提纯，为下一步骤的生产做好准备。 |
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| 徐州二期的还原炉车间 |
还原
所产生的淨化后的三氯氢硅与氢气溷合，再蒸发为气体。之后所产生的气体排入内置有热硅棒的钟形反应炉。气体中所含的硅将在热硅棒上还原沉积，直至热硅棒的直径达到要求为止。之后关闭反应炉，硅棒在碎成块状之前需进行冷却。 |
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| 在徐州的尾氣回收系統 |
尾气回收
生产硅晶体会产生主要由氢气、氯硅烷和氯化氢组成的废气。废气通过低温吸收法进行分离回收。我们使用集压缩、低温浓缩、催化反应、精馏、环绕吸收和低温吸收于一身的CDI废气回收系统，将废气流分离为易回收成份。溷合的氯硅烷会回收为适合精馏成供再使用的三氯氢硅的液化流，而四氯化硅则可通过氯氢化工艺转化为三氯氢硅。 |
| 无水氯化氢以高纯度回收，适合生产三氯氢硅。所回收的氢气通常含总污染物小于百万分之十（10ppm），可直接回收至三氯氢硅精馏器而毋须进一步加工。就某些功能而言，CDI已达到总污染物小于1ppm（99.9999%纯氢气）。西门子反应炉所具有的回收和使用废气的功能，使得所生产的多晶硅品质提升，同时减少了副产品的储存或处置问题。 |
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